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Alicat质量流量控制器

ALICAT 质量流量控制器11系列-基本型

产品分类:Alicat质量流量控制器

产品介绍

 

应用及案例

 

● 大学/研究所    ● 环境监测     ● 真空镀膜    ● 工业炉窑    ● 半导体    ● 汽车制造    ● 光伏    ● 燃料电池     

● 计量    ● 过程工艺气体测量

产品特色

 

● 低价位产品
● 标配模拟控制方式,数字可选
● 高量程比 200:1
● 响应时间快 仅需100ms(可调)


 

性能指标

 

介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类    单种气体标定,请参考背面气体兼容表

量       程    从0-10SCCM 到 0-20SLPM(详情请咨询)

量  程  比    200:1

最大显示流量:102.4%FS

精    度:± (0.8%RD+0.2%FS),RD-读数 FS-满量程

重复性:± 0.2% FS

零点漂移&满量程漂移:0.02% FS / ℃ / Atm

预热时间:<1s

响应时间:100ms(可调)

标定工况:25?C & 100kPa 绝压

工作温度:-10 ~ +50℃

工作湿度:0-100%,无冷凝

标准最大工作压力:1MPa 表压

标准极限耐压:1.2MPa 表压

中压选项:2MPa

模拟输入/输出信号:0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA

数字输入/输出信号:可选RS-232

供电电压:7-30 Vdc (如选4-20 mA输出,须为15-30 Vdc)

供电电流:250mA

电气接口:DB15

材质:302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝、

黄铜、 430FR 不锈钢、 硅、 玻璃

安装方式:对位置无要求 

防护等级:IP40


 

 

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