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产品分类：BROOKS质量流量控制器
SLA5840数字式压力式质量流量计
数字式; 流量范围:0-30000 sccm N2 eq;
流量精度:读数±1.0%(20%-100% FS);±0.2% FS(流量<20% FS);
最大工作压力:1500 psig
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