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MARK3系列是在未改变质量流量控制器所必须的品质特性的条件下彻底实现成本降低的量产产品。材质和泄漏規格则与一般型号产品的SEC-400、SEC-500系列完全一致。主要用途为制程用的气体流量控制、根据重点关注于重复性以及限定气体的种类、流量进行大量生产、实现了大幅度的成本降低。最适合于定流量、长时间的稳定控制重复控制的场合。而且也同样适用于研究所的简易流量控制。
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SEC-400MK3
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10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：空气.N2.O2.Ar.H2.He
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SEC-500MK3
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10/20 SLM ：空气.N2.O2.Ar.H2.He
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